ÌÈÊÐÎÇÎÍÄ ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÉ — ïðèáîð äëÿ êà÷åñòâåííîãî è êîëè÷åñòâåííîãî ðåíòãåíîñïåêòðàëüíîãî àíàëèçà è ìèêðîôîòîãðàôèðîâàíèÿ ó÷àñòêîâ ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè ì-ëîâ (è äð. âåùåñòâ) äèàìåòðîì 0,1—3 μ è òîëùèíîé 1—3 μ.