óäàëåíèå âåùåñòâà ñ ïîâåðõíîñòè òâåðäîãî òåëà âðåçóëüòàòå èîííîé áîìáàðäèðîâêè; ïîçâîëÿåò âûÿâèòü ñòðóêòóðó ïîâåðõíîñòè.
