вакуумный насос, действие которого основано насообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости присоударении их с быстро вращающимся частота( вращения до 90 тыс. об/мин)ротором. Различают молекулярные насосы цилиндрические, дисковые,конические и др. Остаточное давление от 10 до 10-9 Па.
|
