органические материалы, чувствительные к оптическомуизлучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используютсяв микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающихустройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданногорельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрическойосновы перед ее легированием.
|
