получение твердых веществ с помощьюхимических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используютдля получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных имонокристаллических пленок (напр., в планарной технологии) нитевидныхмонокристаллов (""усов""), барьерных слоев (предотвращающих разрушениепокрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложнойконфигурации и др.
|
