(от эпи... и греч. taxis - расположение) - ориентированный ростодного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могутбыть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны(гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием сопряжениякристаллических решеток кристалла и подложки.
|
